抛光类02专利

85105523两面抛光操作中使用的夹头组件
85102657铜锌合金表面的电抛光方法
85104318喷气织机金属筘片抛光法及其装置
85102892抛光装置
85107252手工打磨与抛光工具
87100864组合式滚磨抛光法及其装置
86100517锗酸铋_(ＢＧＯ)_单晶的表面抛光技术
86100527抛光法U形槽隔离技术
87102270磨削、研磨和抛光用基体物质
86106247复合滚筒抛光加工方法及其装置
87106089石材研磨或抛光用组合物及其制造方法
87104751具有螺旋形管路的振动滚筒抛光装置
87101316一种玻璃抛光的方法
87104262.2铝及铝合金碱性化学抛光溶液
87108268.3金相试样磨光、抛光电磁吸盘
89106422.2高效有色金属抛光膏及制备方法
89108777.X磁头抛光方法及其抛光机和该方法生产的磁头
89108597.1抛光设备
89108157.7透镜表面的激光抛光
89105695.5酚醛塑料抛光轮（棒）及其制造方法和成型设备
90105310.4研磨用聚氨酯泡沫抛光片及其制造方法
90107054.8抛光用的管状毛毡
91101198.6不锈钢表面化学抛光浴液及方法
91101197.8不锈钢表面化学抛光浴液及方法
91107366.3利用超声振动的电火花研磨抛光方法及设备
91104335.7用于不锈钢表面化学抛光的抛光液和方法
90107304.0抛光方法和组合物
91109280.3物件抛光的方法和设备
91106657.8一种挤压抛光工作介质及其制造方法
91101956.1叠层羊毛毡条玻璃抛光轮
92100636.5离心式机械除锈和抛光的机器
91111610.9线沙摩擦抛光产品及其制造方法和设备
92114393.1一种抛光/研磨方法及其设备
92100825.2打磨抛光的砂轮组合物
93103507.4抛光板材的方法和设备
93102414.5抛光和刨平表面用的组合物和方法
92104320.1无油水基研磨抛光膏
92107625.8一种晶状饰品钻孔内的抛光方法
92109346.2容器内表面电解机械复合抛光工艺
93117574.7化合物半导体化学抛光腐蚀液
93111949.9固着式磨料抛光片
94101409.6磁盘浮动块用的抛光夹具
93106804.5高效抛光磨刷石及其制备工艺
93117562.3一种新型的小管径内径抛光方法
94116037.8光学镜片的研磨和抛光方法
94119992.4铝及铝合金焊丝的电化学抛光方法
94112773.7抛光电路和抛光方法
94193257.5活性抛光组合物
95190278.4改进型抛光衬垫和它们的应用方法
93111542.6水晶项链小孔抛光工艺及设备
94192438.6光纤套管抛光法
94192249.9改良的抛光组合物和抛光方法
95118705.8化学机械抛光机及用于抛光的方法
94193514.0磨平和抛光环形硬质材料的弹性基砂轮
94193939.1磨料制品、磨料制品的制备方法及其在工件表面抛光时的应用
95120467.X抛光衬底上形成的介质层的装置
95120260.X研磨／抛光方法、研磨／抛光工具及其制造方法
96104302.4晶片抛光装置
95111686.X单层抛光布生产工艺
95107274.9水轮发电机镜板的研磨、抛光方法
95193129.6不锈钢表面化学抛光液及化学抛光方法
95193037.0半导体片抛光设备及方法
96117135.9反转电流法的铝材电解抛光
95120179.4金属表面抛光溶液及抛光工艺
96119219.4具有带槽和孔的抛光垫的抛光装置
96109350.1用于阴极射线管玻璃屏的抛光装置和抛光方法
95119801.7不锈钢设备动态电解复合抛光方法
96122866.0用于抛光光纤连接器端面的方法
96119897.4用化学机械抛光的平整步骤制造半导体器件的方法
97101813.8抛光组合物
97103428.1晶片的抛光方法及装置
97110795.5给抛光板整形的设备和方法
95196473.9金属层用的化学机械抛光淤浆
97105407.X辐射抛光板加热器
97116804.0一种用于化学-机械抛光的抛光盘及其制造方法
97117913.1用于抛光半导体基材上的金属层的磨料组合物及其用途
97116985.3一种玻璃自由曲面复合回转式抛光方法及其工具
97126036.2抛光组合物
97118946.3半导体晶片的抛光方法和装置
97122123.5用于化学机械抛光的压磨板涂层结构及方法
97122945.7抛光方法和抛光装置
97125230.0基片的抛光方法及其抛光装置
97121160.4用于硅衍生物或硅的绝缘材料层的新型化学机械抛光方法
97113484.7化学机械抛光方法及其设备
97117332.X半导体抛光晶片平滑度的控制方法和设备
97190634.3热增强平板玻璃及其板边区的精抛光方法
98105672.5半导体器件中不同种导电层的抛光工艺
98101740.1斜交轴组合球形研磨抛光工具
96196447.2抛光垫
96196089.2光学抛光的方法与装置
95197955.8抛光方法和设备
96195054.4用化学机械抛光除去旋涂介质的速率情况
98101535.2利用化学机械抛光工艺的半导体器件制造方法
97109059.9一种清洗抛光钢棉
98106465.5使用皮带式抛光垫抛光平面的设备和方法
96197567.9改进的抛光浆料和其使用方法
99107890.X晶片抛光设备及晶片抛光用衬垫
98114532.9一种剑麻抛光轮及其制备方法
97199945.7用于化学机械抛光的多氧化剂浆料
99107174.3边抛光组合物
99108657.0抛光组合物
98121456.8化学机械抛光系统及其方法
98123848.3pH值缓冲的浆液及其在抛光中的应用
98123284.1桶抛光装置和桶抛光方法
98125820.4组合式晶片抛光装置及方法
98115207.4制作抛光陶瓷铺砌层和涂层的工艺
98123946.3带有用于支承抛光垫的密封流体腔的抛光工具
98123942.0用于抛光的带有可膨胀气囊的薄片承载头和倾角控制方法
98120987.4用于铜的化学机械抛光(CMP)浆液以及用于集成电路制造的方法
98125825.5抛光片磨损的在线监测
99100796.4化学机械抛光装置和化学机械抛光方法
98111675.2晶片抛光装置和抛光方法
99101756.0改进的磨削和抛光机床
99101755.2改进的磨削和抛光机床
99106240.X抛光装置
98109693.X半导体或绝缘材料层的机械-化学新抛光方法
98116005.0用于磨削、抛光和刷拂的手持式工具机
98119370.6抛光石头用的研磨石夹持头
98117633.X改进抛光垫结构的抛光机
98115244.9防止器件出现化学机械抛光诱发缺陷的方法
97105248.4稀土抛光粉的生产方法
98108726.4化学机械抛光衬垫调理装置
98805585.6用于半导体底物的抛光垫
98805083.8用于花岗石、硬石或陶瓷板材的、具有连续切向振动研磨片段的抛光装置99116008.8玻化砖及石材研磨抛光专用的磨块配方及其制造方法
99126912.8自由流动研磨孔抛光
99800425.1抛光眼镜片的方法和设备
98807161.4抛光玻璃
99102311.0用于铝化学抛光的虚拟图形
99111114.1抛光组合物
00102007.2不锈钢丝网电解抛光处理工艺及专用设备
00102240.7铝或铝合金导电材料层的机械化学抛光方法
98807897.X改进的抛光垫及其相关的方法
00104365.X改善化学机械抛光的均匀性
99800657.2适用于半导体化学机械抛光的金属氧化物浆料的制备方法
00118032.0用于机械化学抛光低介电常数聚合物类绝缘材料层的组合物
98809580.7包括钨侵蚀抑制剂的抛光组合物
99107242.1直径2英寸非掺<111>磷化镓单晶片抛光工艺
00117632.3在半导体晶片化学机械抛光时输送抛光液的系统
00114111.2墙面抛光打磨机
98810545.4借研磨抛光系统制造存储盘或半导体器件和抛光垫
99101890.7抛光和刨平表面用的组合物和方法
99111902.9铜基材料表层的机械化学抛光方法
99118604.4抛光组合物
99111787.5输送基片机械抛光研磨悬浮液的设备和方法
98119024.3一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺
99123322.0提高齿轮质量的加工系统及其中使用的滚筒抛光装置
98112740.1一种防潮白抛光膏
98804962.7镶嵌式抛光垫及其有关方法
99126529.7用于增强半导体化学－机械抛光过程中金属去除率的方法
99120301.1化学机械抛光中用于减少有图案金属凹陷的组合物和方法
99108532.9抛光组合物和表面处理组合物
98111382.6一种抛光胶合板及其生产方法
99109433.6表面抛光机械
99113799.X全玻化渗花瓷质抛光砖
00120454.8测量轴的变形对化学机械抛光工艺进行实时控制
00120190.5用多晶硅掩模和化学机械抛光制造不同栅介质厚度的工艺
98812435.1含纤维素织物的连续生物抛光
00105586.0适用于半导体化学机械抛光的金属氧化物浆料的制备方法
00126838.4抛光装置
00126387.0压电致动的化学机械抛光托盘
00128846.6抛光组合物
00131713.X抛光组合物
00131712.1制造存储器硬盘用的抛光组合物和抛光方法
99802868.1光学抛光制剂
00130570.0制造存储器硬盘用的抛光组合物和抛光方法
00109525.0用于化学机械抛光的组合物
00133732.7使不锈钢压制板达到非定向光洁度的抛光方法
01104631.7用于抛光磁记录盘基体的磨料组合物
01103041.0抛光研磨用的研磨油组合物
00800916.3化学－机械抛光垫的修整装置及方法
01111755.9混合抛光膏剂
01104764.X制造存储器硬盘用的抛光组合物和抛光方法
01103077.1用于抛光磁头浮动块的方法
99809706.3抛光晶片边缘的方法和设备
99809559.1用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料
99809560.5用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料
99808421.2电抛光半导体器件上金属互连的方法和装置
99810343.8抛光垫
99808305.4化学机械抛光浆料和其使用方法
00105407.4磁性抛光粒的制造方法
01107673.9一种既切削又抛光的混合砂及其制造方法
01116934.6抛光组合物
00802085.X抛光体、抛光设备、抛光设备调节方法、抛光膜厚度或抛光终点测量方法及半导体...
99812669.1软丙烯酸系制品的低温抛光方法
01103203.0抛光组合物
00112421.8金属棉抛光毡的制作工艺
99813618.2用于低介电常数材料的氧化抛光淤浆
99815985.9抛光的设备和方法
00802934.2改进的抛光垫及其抛光方法
01121960.2抛光组合物和抛光方法
01121876.2抛光的齿轮表面
01121832.0景泰蓝结构的化学机械抛光中的终点检测
01111345.6抛光浆料
01122494.0化学机械抛光用淤浆及其形成方法和半导体器件制造方法
99814332.4抛光垫及抛光装置
99814852.0用于抛光晶片的载体的储存方法
00803144.4流体喷布式固定研磨剂抛光垫
01122298.0抛光组合物及使用它的抛光方法
00803969.0抛光垫及其形成的方法
01132970.X用于偏转线圈的铁氧体磁心及其表面抛光设备和抛光石
00805734.6抛光盘、抛光机、抛光方法及制造半导体器件的方法
00806470.9调节晶片抛光垫的方法
00128301.4化学－机械抛光软垫的修磨器及其制造方法
00805732.X修整抛光垫的设备和方法
00808137.9在二氧化硅化学机械抛光过程中减少/消除划痕和缺陷的组合物和方法
00804618.2用于在半导体表面进行淀积和抛光的方法和装置
00807964.1对半导体基片进行电镀和抛光的方法及装置
00809453.5用于钛的电解抛光的电解液组合物及其使用方法
00134024.7显像屏抛光盘及其制造方法
00134025.5显像屏封接面抛光盘及其制造方法
01142566.0用于金属和电介质结构化学机械抛光的抛光膏
01142936.4抛光存储器硬盘用基片的抛光组合物及抛光方法
01130249.6抛光方法
02100517.6图案抛光砖的生产工艺
01143343.4化学机械法抛光二氧化硅薄膜用抛光膏
01143362.0用于SiO#-[2]隔离层化学－机械抛光的酸性抛光膏
01800519.5晶片的周面倒角部分的抛光方法及其设备
00810391.7铈和/或镧的磷酸盐凝胶,其制备方法及其在抛光中的应用
00810546.4抛光混合物和减少硅晶片中的铜混入的方法
01101512.8磁头的抛光设备和方法
01800919.0抛光组合物及用该抛光组合物抛光后的磁记录盘基片
01800964.6磁盘基板抛光用组合物及其生产方法
01801018.0抛光剂及其制造方法以及抛光方法
02103518.0抛光谷物加工机器
02103380.3抛光组合物及使用它的抛光方法
00809281.8含硅烷改性研磨颗粒的化学机械抛光(CMP)组合物
00811608.3含有含硅共聚物和纤维的自抛光性海洋防污漆组合物
00811637.7抛光系统及其使用方法
00811638.5化学机械抛光系统及其使用方法
00811639.3含有阻化化合物的抛光系统及其使用方法
01130205.4一种不锈钢化学抛光方法
01141207.0使用化学机械抛光精加工用于接合的晶片的装置和方法
00812621.6采用超声振动的微抛光装置
00813314.X化学机械抛光后半导体表面的清洗溶液
01109908.9一种抛光膜及其制备方法
01109909.7一种生物降解型抛光膜及其制造方法
02116760.5集成电路硅衬底抛光片表面吸附粒子吸附状态的控制方法
02105963.2液晶玻璃基板的化学抛光方法及化学抛光装置
02118134.9抛光纸布的固定装置
01107686.0一种抛光砖废泥陶粒及其制备方法
02118389.9含水涂料组合物和地板抛光组合物
02117756.2用于存储器硬盘磁头表面抛光的抛光组合物及其抛光方法
01113652.9石材抛光磨具
01118250.4物理化学的电子束抛光方法
01120368.4磷化铟单晶片的抛光工艺
02142015.7抛光组合物
00816878.4化学-机械抛光方法
02121636.3抛光方法和设备
02144068.9电解抛光方法
02104579.8抛光设备
02143984.2铝电解抛光的方法和其应用
02148008.7能高精度地控制抛光时间的抛光方法和抛光装置
02134935.5墙面抛光打磨机
02126727.8不用磨料泥浆的玻璃抛光材料及其使用方法
02155461.7一种用于存储器硬盘的磁盘基片抛光浆料
01806808.1用于自抛光防污漆料的无金属粘结剂
01807606.8用于磨削、抛光或类似工作的手持式工具机
02154315.1磁盘基材的抛光组合物和使用该组合物的抛光方法
01129185.0无导轨支承三维振动强化抛光装置及测控系统
00818647.2监视设备、监视方法、抛光装置和半导体晶片的制造方法
01808391.9采用上游和下游流体分配装置的化学机械抛光方法和设备
00815709.X用于抛光衬垫的调节器和制造该调节器的方法
01114777.6云影石抛光砖及其制作方法
01114778.4雪花白抛光砖及其制作方法
01802732.6镜面抛光加工用超级抛光轮
02115113.X墙面抛光打磨机
02127360.X抛光组合物及使用它的抛光方法
02157402.2抛光组合物
02159810.X金属和金属/电介质结构的化学机械抛光用组合物
02160886.5用于金属的化学机械抛光浆液及利用该浆液制备半导体装置的金属线接触插头的方...
02159045.1用于钌的化学机械抛光的溶液
01809719.7化学机械抛光用的多层扣环
03111788.0用普通车床实现高速钢轧辊抛光的装置及方法
03119281.5正交轴组合磁性抛光工具
03103346.6半导体基板的化学机械抛光方法和化学机械抛光用水分散液
01811268.4金属CMP用的抛光组合物
01811428.8抛光板
01811444.X研磨无机氧化物颗粒的浆液以及含铜表面的抛光方法
00819223.5化学机械抛光用研磨剂
01811420.2制造半导体元件的方法及其化学机械抛光系统
02134442.6一种抛光砖色料的配方
03103408.X化学机械抛光浆料和使用该浆料的化学机械抛光方法
03121583.1平行度优于1秒的晶体材料偏心抛光方法
01810403.7使用双面抛光装置的半导体晶片抛光方法
01812171.3具有独立限位环和多区域压力控制结构的气动隔膜式抛光头及其使用方法
01812364.3用于CMP的含硅烷的抛光组合物
02124006.X一种超精密抛光膜及其制造方法
02114201.7N＜100＞衬底扩散、抛光工艺
02114202.5深结硼衬底扩散抛光片
03148219.8金花米黄陶瓷抛光砖用色料
03103332.6在使用热转式打印机的相片上产生无光式抛光的方法
02114147.9铜化学－机械抛光工艺用抛光液
02120508.6一种墙面抛光防污蜡的制作方法
03123417.8用于电化学机械抛光的导电抛光用品
02119803.9一种化学机械抛光装置的终点侦测系统
03119524.5失效稀土抛光粉的再生方法
02118060.1一种抛光垫
02800231.8不打滑的抛光头背衬膜
02800353.5抛光剂及基片的抛光方法
00819800.4内装有光传感器的抛光垫
00819633.8包含纤维和含金属共聚物的自抛光型海洋防污漆组合物
02112892.8显像管玻屏的抛光轮及其制造方法
02107908.0一种改善化学机械抛光不均匀度的方法
03107601.7化学机械抛光装置及其控制方法
03116903.1实现单面抛光的双面无蜡抛光方法
03119891.0抛光装置
03113656.7墙面抛光打磨机
01814479.9眼内晶状体的干抛光
01814133.1用于化学机械抛光的研磨垫
01814572.8带槽的抛光垫及其使用方法
01813869.1用双面抛光加工半导体晶片的方法
00820029.7半导体晶片,抛光装置和方法
01815145.0基板的化学机械抛光装置和方法
01815643.6用新型精抛光方法加工半导体晶片的方法及其设备
02129827.0抛光材的制造方法
02150501.2化学/机械抛光浆和使用它的化学机械抛光方法
03148693.2铂化学机械抛光用的溶液
01819492.3将弹性带设置到在研磨或抛光晶片时所使用的夹盘上的工具
01819533.4用于抛光晶片的带有窗口系统的磨具及其应用方法
01817877.4抛光工具及制造所述工具的组合物
01818564.9抛光布,抛光装置和半导体设备的制备方法
01815147.7化学机械抛光的方法
01818866.4包含粒状聚合物和交联聚合物粘结剂的抛光垫
03178453.4化学机械抛光和垫修整方法
02138213.1不锈钢电化学研磨(抛光)方法
03130446.X稀土抛光粉的制备方法
02129536.0去除或减少氧化物薄膜中表面颗粒的方法和专用抛光棒
03152484.2用于化学机械抛光的淤浆
03130372.2辣椒碱自抛光防污涂料及其制备方法
01821824.5抛光垫及其使用方法
02803728.6含有草酸铵的抛光系统及方法
01820315.9眼内透镜的干法抛光
01821165.8处理废水的有氧抛光系统
01821762.1使用表面面积减少的抛光片使半导体晶片抛光和平坦化的系统和方法
02146281.X一种钢模具切削抛光用硫磺油石
03155110.6电动地面抛光器
03153996.3电磁方式磁流变抛光头
02804506.8抛光组合物中有机硅表面活性剂的使用
01818877.X带有内置光学传感器的抛光垫
02803949.1用于金属化学机械抛光的催化性反应垫
200310120349.0抛光垫
200310114866.7具有枢轴机构且垂直可调的化学机械抛光头及其使用方法
03164917.3共聚物水乳液和多价金属化合物之间的反应产物以及含有该产物的抛光组合物
200310104711.5用于化学机械抛光的水分散体及用途
03140681.5抛光垫及多层抛光垫
03156576.X抛光布用打磨器和使用该打磨器的抛光布的打磨方法
03151489.8用于化学机械抛光的水分散体和半导体设备的生产方法
03149707.1用于电化学机械抛光的导电抛光部件
03152491.5用于抛光铜基金属的浆
03127205.3抛光组合物
02807536.6用于边缘抛光均匀性控制的设备
02807596.X用于化学机械抛光的对准主动护圈表面与晶片表面的设备和方法
00804131.8抛光状态监视方法、抛光状态监视装置、抛光设备、加工晶片、半导体器件制造方...
02805974.3抛光体、CMP抛光设备及半导体器件制造方法
01818940.7铜的化学机械抛光所用的浆料和方法
200310116366.7评价磨粒质量的方法、抛光方法以及玻璃抛光用的磨料
200310103454.3在不使用化学机械抛光的情况下形成平坦的Cu互连的方法
02810032.8化学机械抛光组合物及其相关方法
02809264.3使用虚拟元件来抛光集成电路器件的方法
03100995.6抛光组合物的用途和抛光存储器硬盘的方法
03100997.2抛光方法
03149104.9抛光方法和设备
02160850.4抛光工具及其制造方法
03140222.4仿古立体抛光砖及其制造方法
02157322.0一种石材镜面效果抛光膏的制作方法
02810852.3抛光装置与抛光方法
02803940.8含固体催化剂的化学机械抛光的抛光垫
02811619.4化学机械抛光装置用晶片定位环
03154955.1用于金属的化学机械抛光（CMP）的浆料及其使用
200410003134.5抛光垫及制造半导体器件的方法
200410002802.2经抛光的半导体晶片及其制造方法
03118091.4一种仿石材纹理抛光砖生产方法
03159229.5可用作笔杆的金属工件的加工工艺及其专用抛光装置
200410004837.X电抛光半导体器件上金属互连的装置
02813615.2提高垫寿命的化学机械抛光垫调节器方向速度控制
02807921.3抛光垫及装置
01823405.4用于化学机械抛光的端点检测系统
02811936.3铈基抛光料和铈基抛光浆料
200410007656.2抛光组合物
03135839.X振动抛光磨块的制作方法
03119904.6液晶显示模块抛光装置
200310111959.4墙面/屋面抛光打磨机
200410028320.4用于抛光垫窗口的抗反射层
03117370.5使用浮球研磨抛光回转体零件的方法及其装置
200410006812.3化学机械抛光浆液
02814368.X添加剂组合物、含有该添加剂组合物的淤浆组合物及使用该淤浆组合物抛光物体的...
03800709.6抛光方法及研磨液
02808676.7用于电化学机械抛光的导电抛光部件
02814331.0改变浆料中氧化剂的浓度进行化学机械抛光(CMP)的方法
02136068.5玻璃容器的火焰抛光装置及玻璃容器的火焰抛光方法
02140537.9镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法
03106424.8防止化学机械抛光中的凹陷和侵蚀的半导体器件制造方法
02134307.1金属工件振动研磨抛光及去毛刺的方法及其设备
01817367.5用于倒装式结合在有焊料凸块晶片上预底填料的溶剂辅助抛光
01816948.1包括填充的半透明区域的抛光垫
01816826.4抛光包括铜和钨的半导体器件结构中使用的浆液与固定磨料型抛光垫以及抛光方法
01815525.1在化学机械抛光中用于终点探测的现场方法和设备
200410043041.5抛光垫及其生产方法
03800759.2抛光方法
03121596.3钛及钛合金制品的等离子体抛光方法
200410003542.0化学机械抛光方法以及与其相关的洗涤/冲洗方法
200410034215.1抛光组合物
03122122.X压花拼图抛光砖的生产工艺及由该工艺制得的压花拼图抛光砖
200410032737.8磁头条夹持部件，抛光装置及抛光薄膜磁头相对介质的表面的方法
02814767.7化学机械抛光垫的调节的前馈和反馈控制
02815166.6用于在化学机械抛光中控制晶片温度的设备及方法
03800729.0抛光方法及装置
02815444.4用于金属布线的化学机械抛光的浆液组合物
200310112067.6一种瓷质砖表面抛光处理方法
200410036675.8具有优化的槽的抛光垫及使用方法
200310112065.7一种瓷质砖表面抛光涂料
200410006965.8薄膜磁头中的介质相对表面的抛光方法
02807483.1具有成型或柔性窗口结构的加强的抛光垫
02816212.9包括二氧化硅涂覆铈土的抛光淤浆
02807603.6用以改善所需化学机械抛光压强对于将由抛光头施加于晶片的作用力的转换精度的...
02816119.X使用平面化方法和电解抛光相结合的方法形成半导体结构
01823540.9具有孔和/或槽的化学机械抛光垫
01823541.7具有波形槽的化学机械抛光垫
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200310112140.X一种仿抛光天然大理石的生产方法
01823599.9利用激光制造化学机械抛光垫的方法
02816509.8减小电解抛光工艺中的金属凹槽的虚拟结构
02817163.2利用激光束和掩模制造抛光垫的方法
02816911.5适用于自抛光防污漆的具有低含量可水解单体的粘结剂
02816848.8恒定PH的抛光和擦洗
98120209.8适于高精度平面化的化学机械抛光方法
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99121803.5化学机械抛光装置
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00136608.4光学元件研磨或抛光用的夹具
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99806193.X用于铜基材的化学机械抛光浆料
99801686.1抛光铜膜后清洁处理半导体衬底的方法和设备
99810561.9半导体基材的抛光垫
99810562.7半导体基材的抛光垫
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